ЛАБОРАТОРИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

Дата основания: 29 декабря 2023 г.

Научное направление лаборатории.

- получение наноразмерных тонких пленок силицидов металлов и полупроводниковых соединений с использованием установки магнетронного распыления;

- анализ электронной структуры, оптических и электрофизических свойств и характеристик тонких пленок;

- проведение научных исследований по созданию полупроводниковых устройств на основе новых материалов и наноструктур: в частности, оптических резонаторов, электронных и магнитных запоминающих устройств, детекторов излучения, интегральных схем;

Цель лаборатории. Развивать микро- и наноэлектронику, обеспечивать интеграцию науки, образования и производства в этих областях, а также внедрять технологии получения новых материалов, используемых в сфере электронного оборудования.

Задачи лаборатории.

– разработка технологии получения новых наноматериалов;

– разработка методов диагностики электронной структуры, оптических и электрофизических свойств тонких пленок силицидов металлов, формируемых на поверхности полупроводников;

– создание технологии получения наноструктур на основе соединений силицидов металлов и полупроводников, используемых в энергосберегающих технологиях;

– обеспечение участия студентов университетов, магистрантов и докторантов в региональных, республиканских и международных симпозиумах, семинарах и научных конференциях;

– проведение необходимой подготовительной работы по подготовке и представлению годовых и текущих отчетов о результатах научно-исследовательской работы лаборатории.

Оборудование лаборатории:

1. EPOS-PVD-DESK-PRO, 2020

2. IRTracer-100, 2021

3. UV 1900, 2022

4. HMS 5000, 2024

5. Supermini 200,

6. Rigaku, 2024

7. UV 2600, 2025

8. SNE ALPA nano SEM, 2025

9. MG-A1200-1L Atmosphere Furnace, 2025