МИКРО ВА НАНОЭЛЕКТРОНИКА ИЛМИЙ-ТАДҚИҚОТ ЛАБОРАТОРИЯСИ

Ташкил топган санаси: 2023-йил 29-декабрь

Лаборториянинг илмий йўналиши.

- магнетрон чанглатиш қурилмаси ёрдамида наноўлчамли юпқа плёнкалар метал силисидлари ва яримўтказгич бирикмаларни олиш;

- юпқа плёнкаларнинг электрон тузулиши, оптик ва электрофизик хосса ва хусусиятларини таҳлил қилиш;

- янги материаллар ва наноструктуралар аосида яримўтказгичли қурилмалар: хусусан, оптиc резонаторлар, электрон ва магнит сақлаш мосламалари, нурланиш детекторлари, интеграл микросхемалар яратиш бўйича илмий тадқиқотлар ўтказиш;

Лабораториянинг мақсади. Микро ва наноэлектроникани ривожлантириш, ушбу соҳаларда фан, таълим ва ишлаб чиқаришнинг интеграциясини таъминлаш, электрон техника соҳасида қўлланиладиган янги материалларни олиш технологиясини амалиётга жорий этиш йўлга қўйиш.

Лаборториянинг вазифаси.

–    наноўлчамли, янги материаллар олиш технологияси ишлаб чиқилади;

– яримўтказгичлар сиртида ҳосил қилинаётган метал силистсид юпқа плёнкаларининг элеcтрон тузилиши, оптик ва электрофизик хоссалари диогностикасини ишлаб чиқиш;

– энергия тежовчи технологияларда фойдаланиладиган силитсид металл ва яримўтказгич бирикмалар асосидаги наноўлчамли сткуртураларни олиш технологиясини яратиш;

– университет талабалари, магситрантлар ва докторантларни минтақавий, Республика ва халқаро миқёсидаги симпозиум семинар ва илмий конференцияларда қатнашишини таъминлаш;

– лабораториянинг илмий тадқиқот ишлари натижалари бўйича йиллик ва жорий ҳисоботлар тайёрлаш ва топшириш учун зарур тайёрланган ишларни амалга ошириш.

Жиҳозлар:

1. EPOS-PVD-DESK-PRO, 2020

2. IRTracer-100, 2021

3. UV 1900, 2022

4. HMS 5000, 2024

5. Supermini 200,

6. Rigaku, 2024

7. UV 2600, 2025

8. SNE ALPA nano SEM, 2025

9. MG-A1200-1L Atmosphere Furnace, 2025